Pour ses programmes de recherche dans le domaine des MEMS et NEMS, le CEA LETI recherche un équipement de gravure de couches par vapeurs d’acide fluorhydrique (HF), entièrement automatique et capable de traiter des batch de 25 plaques 200 mm à la fois. L’équipementier devra également proposer, sous forme de Prestations Supplémentaires Eventuelles, une capacité de traitement de plaques de 300mm de diamètre. L’équipement devra être entièrement compatible avec une salle blanche de qualité microélectronique. Il sera installé dans les salles blanche du CEA LETI et sera utilisé 7 jours/7.