    
                        Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)
                    
                                Contract Value:
                                EUR 1 - 1
                                Notice Type:
                                Contract award notice
                            
                                Published Date:
                                07 July 2023
                                Closing Date:
                                
                                Location(s):
                                        DE21H München, Landkreis (DE Germany/DEUTSCHLAND)
                            
                        Description:
                        
                        ICP-DRIE Ätzanlage für das HLL
Anschaffung einer dedizierten und spezialisierten Trockenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma zum tiefen Silizium ätzen (ICP-DRIE)
Anschaffung einer dedizierten und spezialisierten Trockenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma zum tiefen Silizium ätzen (ICP-DRIE)

                                Awarded to:
                                        Oxford Instruments GmbH, Wiesbaden (DE)
                            
                                 Download full details as .pdf
                        
                            The Buyer:
                            Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft
                            
                            CPV Code(s):
                                31000000 - Electrical machinery, apparatus, equipment and consumables; lighting
                                38000000 - Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)