Lieferung eines Elektronenstrahllithographie System

Das Elektronenstrahllithographie System soll im Rahmen des Projekts QSens für die Herstellung und Verwendung von Quantensensoren verwendet werden. Innerhalb des Projektes sollen Fehlstellenzentren in speziell strukturierte Diamantproben verwendet werden um neuartige und empfindlichere Sensoren herzustellen. Das Gerät wird benötigt, um mithilfe von Elektronenstrahllithographie, die Nanometer- bzw. Mikrometergroßen Strukturen aus bzw. auf Diamantproben zu erzeugen. Dies ist Voraussetzung für die angestrebte Empfindlichkeitssteigerung der Sensoren.