Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de gravure humide multicouches (matériaux lithié, métaux et oxyde) par aspersion.

Cet équipement est destiné à graver des lots de produits recouverts de couches minces contenant des matériaux tels que des métaux, du lithium et des oxydes. Il devra permettre de traiter des lots de produits par batch. Il assura les opérations de gravure humide par spray (aspersion), stripping, rinçage et séchage.

L’équipement sera installé dans un environnement de production type salle blanche sur le site de STMicroelectronics à Tours et devra en conséquence être conforme aux normes en vigueur dans ces environnements.