Microelectronic machinery and apparatus | Tenderlake

Microelectronic machinery and apparatus

Contract Value:
-
Notice Type:
Contract Notice
Published Date:
04 June 2016
Closing Date:
04 July 2016
Location(s):
DE122 Karlsruhe, Stadtkreis (DE Germany/DEUTSCHLAND)
Description:

Am Lichttechnischen Institut am Karlsruher Institut für Technologie soll eine universelle Laborsputteranlage zur Deposition leitender und nichtleitender Schichten beschafft werden.

Mit dieser sollen sowohl leitende (z. B. Kontakte) als auch nichtleitende Schichten (z. B. Dielektrika für Antireflexschichten) in verschiedensten Ausführungen und für diverse Anwendungen in ausreichender Qualität kostengünstig und selbständig hergestellt werden.

Um eine möglichst vielseitige Forschung gewährleisten zu können, wird eine Anlage mit fünf verbauten Quellen angestrebt, wobei 2 dieser Quellen gleichzeitig betrieben werden können (DC/DC-, RF/RF- und DC/RF-Modus).

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The Buyer:
Karlsruher Institut für Technologie – Campus Nord
CPV Code(s):
31712100 - Microelectronic machinery and apparatus