Machines and apparatus with individual functions | Tenderlake

Machines and apparatus with individual functions

Contract Value:
EUR 353K - 353K
Notice Type:
Contract award notice
Published Date:
29 September 2015
Closing Date:
Location(s):
FR FRANCE
Description:

Le marché est un marché à tranches, il comporte une tranche ferme et quatre tranches conditionnelles.

La tranche ferme porte sur la fourniture de l'équipement principal, l'ALD comprenant une chambre de dépôt, des portes-substrats, un système de gestion de sources et gaz, un système de Pilotage.

La tranche conditionnelle n°1 porte sur la fourniture d'un système de pompage sec avec un filtre mécanique de particules et une chambre de post-combustion (after-burner) compatible avec l'équipement principal.

La tranche conditionnelle n°2 porte sur la fourniture d'un système manuel de transfert de substrat avec isolation de la chambre de dépôt (SAS).

La tranche conditionnelle n°3 porte sur un système de dissociation lointain de gaz par plasma.

La tranche conditionnelle n°4 porte sur la fourniture d'un système de montage de sources (DEZ) nécessairespour le dépôt de l'oxyde de zinc (ZnO).

Awarded to:
Fourniture d'un réacteur ALD
Microtest SARL, Serignan-du-Comtat (FR)
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The Buyer:
CNRS — délégation Île-de-France Ouest et Nord
CPV Code(s):
31640000 - Machines and apparatus with individual functions