Le marché est un marché à tranches, il comporte une tranche ferme et quatre tranches conditionnelles.
La tranche ferme porte sur la fourniture de l'équipement principal, l'ALD comprenant une chambre de dépôt, des portes-substrats, un système de gestion de sources et gaz, un système de Pilotage.
La tranche conditionnelle n°1 porte sur la fourniture d'un système de pompage sec avec un filtre mécanique de particules et une chambre de post-combustion (after-burner) compatible avec l'équipement principal.
La tranche conditionnelle n°2 porte sur la fourniture d'un système manuel de transfert de substrat avec isolation de la chambre de dépôt (SAS).
La tranche conditionnelle n°3 porte sur un système de dissociation lointain de gaz par plasma.
La tranche conditionnelle n°4 porte sur la fourniture d'un système de montage de sources (DEZ) nécessairespour le dépôt de l'oxyde de zinc (ZnO).