Kauf, Installation und Abnahme einer X-FIB.

Kauf und Installation eines Xe-Plasma Focused-Ion Beam (Xe-FIB/SEM). Hauptanwendung des Systems ist die Präparation von Proben, d. h. Ionenstrahl-Strukturierung und strahlinduzierte Abscheidung, mit charakteristischen Dimensionen auf der Mikrometer-Skala.