Lieferung einer Plasma-Trockenätzanlage für III-V Halbleiter und Übergangsmetalloxide (entsprechend den im Kriterienkatalog festgelegten Vorgaben). Die oben genannte Anlage ist spätestens 20 Wochen nach Zuschlagsvergabe zu liefern.

Im Rahmen des vorliegenden Vergabeverfahrens beabsichtigt der Freistaat Bayern (Auftraggeber) – hier vertreten durch die Universität Würzburg (Vergabestelle) – die Beschaffung einer Plasma-Trockenätzanlage für III-V Halbleiter und Übergangsmetalloxide durchzuführen. Die oben genannte Anlage ist spätestens 20 Wochen nach Zuschlagsvergabe zu liefern.