Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de métrologie suivants pour le compte du CEA/LETI :

LOT n°1 : Equipement de caractérisation FTIR

LOT n°2 : Equipement de mesure de défectivité non-patternée

LOT n°3 : Microscope électronique à balayage pour contrôle dimensionnel CD-SEM

LOT n°4 : Equipement d’analyse physique de contamination métallique TXRF

LOT n°5 : Plateforme de préparation d’échantillons FIB et d’observation par TEM

Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.

Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de mesure de contamination métallique de surface par TXRF. Il devra être équipé de plusieurs faisceaux de rayons X permettant de quantifier les éléments du 11Na jusqu'au 92U. Cet équipement devra être capable de traiter des plaques de diamètre de 150 mm, 200 mm et 300 mm sans exclusion de bord, avec chargement automatique des plaques disposées dans un FOUP 300 mm ayant des inserts 200 et 150 mm.