Le marché consiste à remplacer un bâti d’épitaxie III-V par un nouveau réacteur pour la croissance épitaxiale de TMDCS nécessitant l'utilisation d'un canon à électrons pour leur évaporation

Les prestations sont divisées en 3 lots, répartis comme suit:

— lot 1: fourniture et installation d'un réacteur ultra-vide pour l'épitaxie de dichalcogénures,

— lot 2: fourniture d'un évaporateur linéaire multi-creusets à canon à électrons pour réacteur ultra-vide,

— lot 3: fourniture d'une cellule d'évaporation de Sélénium à vanne pour réacteur ultra-vide.

L’objet du lot 1 est destiné à remplacer un bâti existant d’épitaxie de semi-conducteurs III-V sur des substrats de taille inférieure ou égale à 3 pouces avec des sources d’éléments solides ou gazeuses.

Le marché concerne l'achat d'un évaporateur linéaire multi-creusets à canon à électrons pour réacteur ultra-vide.

La marché concerne l'achat d'une cellule d'évaporation de Selenium à vanne pour réacteur ultra-vide