Przedmiotem zamówienia jest:

1.1. Dostawa zestawu pomp do wytworzenia ultra wysokiej próżni, tj. pompy

próżniowej bezolejowej suchej – spiralnej typu scroll, oraz dwóch pomp

turbomolekularnych (TMP). Wskazane pompy powinny zapewnić uzyskanie

próżni rzędu 10-8 mbar pozwalającej na wytwarzanie cienkich o wysokiej

czystości warstw epitaksjalnych.

1.2. Wskazane pompy muszą być kompatybilne z komorą epitaksjalną EPI 930,

będącą w posiadaniu Zamawiającego, w celu utworzenia jednego stanowiska

procesowego.

2. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia oraz sposób realizacji zawiera projekt

umowy wraz z załącznikami (Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia – Załącznik nr 9), stanowiący Załącznik nr 1 do SWZ.

Przedmiotem zamówienia jest:

1.1. Dostawa zestawu pomp do wytworzenia ultra wysokiej próżni, tj. pompy

próżniowej bezolejowej suchej – spiralnej typu scroll, oraz dwóch pomp

turbomolekularnych (TMP). Wskazane pompy powinny zapewnić uzyskanie

próżni rzędu 10-8 mbar pozwalającej na wytwarzanie cienkich o wysokiej

czystości warstw epitaksjalnych.

1.2. Wskazane pompy muszą być kompatybilne z komorą epitaksjalną EPI 930,

będącą w posiadaniu Zamawiającego, w celu utworzenia jednego stanowiska

procesowego.

2. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia oraz sposób realizacji zawiera projekt

umowy wraz z załącznikami (Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia –

Załącznik nr 9), stanowiący Załącznik nr 1 do SWZ.