Remise à niveau de l’aligneur de masque MA150 SUSS Microtec et de son système d’exposition LED + formation spécifique à l’utilisation (dont logiciel) et à la maintenance de la machine.

La machine d’alignement de masque MA150 CC est constituée des éléments suivants:

1) système d’exposition LED:

Changement de la boite à lumière et sa lampe à mercure par une boîte à lumière à UV-LED de puissance équivalente à 1 000 W par une lampe à vapeur de mercure dont l’uniformité doit être inférieure à 2 % pour un substrat 150 mm;

2) système d’alignement:

Remise à neuf du module de pré-alignement adapté pour des substrats 100 mm et 150 mm de diamètre en silicium, verre borosilicate (type AF32 fabricant Schott) et silice fondue (type Fused Silica fabricant Schott).

Remise à neuf du microscope TSA à champ séparé associé à deux caméras digitales et deux objectifs 5X/0.15 qui permet une distance de travail de 20 mm;

Remise à neuf du microscope pour l’alignement face arrière BSA à champ séparé associé à deux caméras digitales et deux objectifs 5X/0.15;

3) un système de transfert automatique d’échantillon de 100 mm à 150 mm de diamètre sur deux cassettes.

Remise à neuf;

4) kit pour traitement de substrat de diamètre 100 mm composé d’un porte échantillon permettant des expositions en mode contact (dur ou doux) ou vide ou proximité et d’un porte masque pour masque de 5’’ × 5’’ à 6’’ × 6’’ (l’ouverture étant un diamètre 100 mm) avec un système en mode proximité.

Remise à neuf.

Les systèmes 2 à 4 ci-dessus sont actuellement présents sur la machine, ils seront testés, remplacés et/ou réparés si nécessaire dans le cadre de la remise à niveau de l’équipement (tous les frais afférents sont compris dans le montant forfaitaire du marché);

5) remise à neuf de du pilotage de la machine.