Es soll eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikrostrukturen für Chargenprozesse angeschafft werden.

Die anzuschaffende Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit fluorhaltigen Gasen und Sauerstoff bzw. Gemischen davon ätzen lassen.

Geplantes Lieferdatum: April/Mai 2019.

Wertungskriterien: technische Spezifikationen 70 %, Preis 30 %.

Die Ausschreibung „04.18.O.02 / Los 2 – Fluor-Chargenätzer“ wird im Rahmen des Forschungsprojektes „Innovative optische Gesundheitstechnologien basierend auf hocheffizienten und reproduzierbaren Mikrofluidik-Chips (OptoMikro)“ veröffentlicht. Das Forschungsprojekt umfasst insgesamt vier Positionen, die als Lose zu unterschiedlichen Zeitpunkten als Ausschreibungen veröffentlicht werden. Die Ausschreibung „04.18.O.02 / Los 2 – Fluor-Chargenätzer“ stellt Los 2 des Forschungsprojektes „OptoMikro“ dar.

Es soll eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikrostrukturen für Chargenprozesse angeschafft werden.

Die anzuschaffende Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit fluorhaltigen Gasen und Sauerstoff bzw. Gemischen davon ätzen lassen.

Geplantes Lieferdatum: April / Mai 2019.

Wertungskriterien: technische Spezifikationen 70 %, Preis 30 %.