Lieferung und Inbetriebnahme eines EBIC-Systems und eines EBSD-Systems als Erweiterung eines bestehenden Rasterelektronenmikroskopes.

Ein bestehendes Rasterelektronenmikroskop der Fa. Zeiss, TypMerlin mit einem Oxford EDX-System soll um Komponenten zur elektrischen und mikrostrukturiellen Charakterisierung von Nanostrukturen erweitert werden. Alle Komponenten müssen vom REM-Hersteller geprüft und freigegeben sein. Die problemlose Zusammenarbeit mit der bestehenden Hard- und Software ist zwingend notwendig. Hinzu kommt die Notwendigkeit für eine vergleichsweise einfache Bedienung und Justage im Routinebetrieb.