Przedmiotem zamówienia jest dostawa, instalacja, uruchomienie, testowanie fabrycznie nowego urządzenia do trawienia plazmowego (RIE, reactive ion etching) w plazmie o podwyższonej gęstości (ICP, inductively coupled plasma) z modułem do trawienia warstw atomowych (ALE, atomic layer etching) wraz z obsługą gwarancyjną, serwisową, dokumentacją i szkoleniami.

Przedmiotem zamówienia jest dostawa, instalacja, uruchomienie, testowanie fabrycznie nowego urządzenia do trawienia plazmowego (RIE, reactive ion etching) w plazmie o podwyższonej gęstości (ICP, inductively coupled plasma) z modułem do trawienia warstw atomowych (ALE, atomic layer etching) wraz z obsługą gwarancyjną, serwisową, dokumentacją i szkoleniami.