Leistungsbeschreibung eines Moduls zur Siliziumnitridätzung und Integration desselben in einen halbautomatischen Wet-Prozessor (HWP) der Fa. HMR Reinraum- & Labortechnik GmbH

Modulanforderungen:

Das Modul soll an eine bestehende Anlage des Typs SWP der Fa. HMR anschließbar, bezüglich seiner Funktionen teilweise integrierbar sein und ein altes Modul des Typs Nison 1800 der Fa. Nisso Eng. ersetzen.

Das Modul muss in der Lage sein, konzentrierte Phosphorsäure auf eine Temperatur von max. 180°C zu erhitzen, zu pumpen, zu filtern und mit DI-Wasser zu mischen.

Die Heizungsregelung des Moduls muss neben dem Durchlauferhitzer ebenfalls die Heizung des Prozessbeckens steuern.

Leistungsbeschreibung eines Moduls zur Siliziumnitridätzung und Integration desselben in einen halbautomatischen Wet-Prozessor (HWP) der Fa. HMR Reinraum- & Labortechnik GmbH

Modulanforderungen:

Das Modul soll an eine bestehende Anlage des Typs SWP der Fa. HMR anschließbar, bezüglich seiner Funktionen teilweise integrierbar sein und ein altes Modul des Typs Nison 1800 der Fa. Nisso Eng. ersetzen.

Das Modul muss in der Lage sein, konzentrierte Phosphorsäure auf eine Temperatur von max. 180°C zu erhitzen, zu pumpen, zu filtern und mit DI-Wasser zu mischen.

Die Heizungsregelung des Moduls muss neben dem Durchlauferhitzer ebenfalls die Heizung des Prozessbeckens steuern.