Komponenten THz-Mikroskop Los 1 – 11
Optischer Tisch Los 1
HF Signalgenerator
Digitalmikroskop
Los 2 Optische Bänke
Spiegel Los 3
Klappspiegelhalterungen Los 4
Vakuumpumpen
Kleinkühler 1 und 2
Temperaturregelung Los 7
Positioniersystem Los 8
Messelektronik Los 9