Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de métrologie suivants pour le compte du CEA/LETI :

LOT n°1 : Equipement de caractérisation FTIR

LOT n°2 : Equipement de mesure de défectivité non-patternée

LOT n°3 : Microscope électronique à balayage pour contrôle dimensionnel CD-SEM

LOT n°4 : Equipement d’analyse physique de contamination métallique TXRF

LOT n°5 : Plateforme de préparation d’échantillons FIB et d’observation par TEM

Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.

Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de caractérisation de matériaux par infra-rouge par Transformée de Fourier (FTIR). Il devra fonctionner en modes réflexion et transmission et devra offrir une gamme spectrale couvrant au moins la gamme 4000cm-1 to 400cm-1. Cet équipement sera utilisé pour des applications de microélectronique sur des plaques de diamètre 300 mm, et devra en complément offrir la possibilité d'effectuer des mesures en 200 mm.