Die Universität Regensburg (UR) beabsichtigt die Anschaffung einer Molekularstrahlepitaxie-Anlage ("MBE-Anlage"), zur Integration in ein bestehendes MBE-Anlagen-Cluster. Die Integration erfolgt über das Andocken (CF150) der zu beschaffenden MBE-Anlage an den bestehenden linearen Ultrahochvakuum-Kanal (UHV-Kanal). Die Probentransfer- und Probenaufnahmesysteme der zu beschaffende MBE-Anlage müssen auf die im bestehenden MBE-Cluster verwendeten 2"-Waferhalter ausgelegt sein. Unerlässlich ist eine Abnahme des Waferhalters aus dem UHV-Kanal in vertikaler Position.

Ultrahochvakuum-Molekularstrahlepitaxieanlage

(UHV-MBE)