Herstellung und Lieferung einer autonomen UHV Ga FIB-Säule inkl. Hochspannungsversorgung, Steuerelektronik, Steuersoftware und Ga-Quelle; plus UHV SE-Detektor inkl. Elektronik; plus Platin Precursor Abscheide-System inkl. Elektronik; Vor-ort-Installation und Bedienungs-Training