Gara europea telematica a procedura aperta per l’affidamento della fornitura di un impianto da ultra-alto vuoto (UHV), “cluster-tool”, per la deposizione di metalli e materiali semiconduttori per il Dipartimento di Fisica e Astronomia dell’Università degli Studi di Padova.

Procedura finanziata parzialmente con risorse PNRR – Missione 4: Istruzione e ricerca

Componente 2: Dalla ricerca all’Impresa – Attuazione di misure di sostegno alla R&S per promuovere la semplificazione e la mobilità, Investimento 1.4 Potenziamento delle strutture di ricerca e creazione di campioni nazionali di R&S su alcune Key Enabling Technologies

Progetto CNMS – Sustainable Mobiity Center (centro nazionale per la mobilità sostenibile)

Investimento 1.3: Creazione di PE alle università, ai centri di ricerca, alle aziende per il finanziamento di progetti di ricerca di base, Progetto NEST – NETWORK 4 ENERGY SUSTAINABLE TRANSITION, Area tematica: 2 Future energy scenarios – 2.A Green energies of the future

L’appalto consiste nella fornitura di un impianto da ultra-alto vuoto (UHV), denominato anche “cluster-tool”, per la deposizione di film sottili composto da:

- un modulo di processo e modulo di controllo dei processi e del sistema, comprendente una camera di deposizione in ultra-alto vuoto contenente 4 catodi per magnetron sputtering in geometria confocale, (strumento principale, totalmente funzionante in maniera autonoma), come dettagliatamente descritto nel Capitolato speciale d’appalto – parte tecnica;

- alimentatori per applicare un bias DC/RF ai substrati, come dettagliatamente descritto nel Capitolato speciale d’appalto – parte tecnica (Opzione di acquisto n. 1);

- sistema per consentire lo stoccaggio dei campioni ed il loro inserimento nella camera di deposizione senza interrompere le condizioni di ultra-alto vuoto, come dettagliatamente descritto nel Capitolato speciale d’appalto – parte tecnica (Opzione di acquisto n. 2);

- camera di deposizione in ultra-alto vuoto, contenente 4 catodi per magnetron sputtering in geometria confocale e relativo sistema di pompaggio come dettagliatamente descritto nel Capitolato speciale d’appalto – parte tecnica (Opzione di acquisto n. 3);

- camera di deposizione in ultra-alto vuoto, contenente una sorgente per evaporazione a fascio elettronico, come dettagliatamente descritto nel Capitolato speciale d’appalto – parte tecnica (Opzione di acquisto n. 4).

Le opzioni di acquisto n. 1, n. 2, n. 3, n. 4 sono facoltative per l’Ente.