Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren lokalen in-situ Laser-Heizsystems (LHS) für Proben innerhalb eines Rasterelektronenmikroskops inklusive Nutzerschulung. Mit dem LHS sollen begrenzte Probenbereiche gezielt, lokal einer thermischen Beeinflussung durch eine Laser-Material-Wechselwirkung im Hochvakuum aussetzbar sein. Die verwendeten Materialien der Proben stammen aus dem Bereich der Halbleiter- sowie Mikro- und Nanotechnologie. Eine thermische Prozessierung bis oder größer 1000°C soll mit dem LHS möglich sein.

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein lokales in-situ Laser-Heizsystem für ein Rasterelektronenmikroskop zu beschaffen. Detaillierte Anforderungen sind im Leistungsverzeichnis beschrieben.