Es handelt sich um die Beschaffung eines Thermo Reflectance Visualization System Mikroskops (im Folgenden als „TRM“ bezeichnet) für die thermische Charakterisierung von Halbleiter-Leistungsbauelementen.
Es handelt sich um die Beschaffung eines Thermo Reflectance Visualization System Mikroskops (im Folgenden als „TRM“ bezeichnet) für die thermische Charakterisierung von Halbleiter-Leistungsbauelementen.