Lieferung einer Reaktiven Ionenätzanlage zur Strukturierung voluminöser 3d-Körper und gekrümmter Oberflächen gemäß den Anforderungen der Leistungsbeschreibung (Anlage1 der Vergabeunterlagen)

Das Gesamtsystem soll aus den folgenden Modulen bestehen:

- Vakuum-Prozesskammer mit zugehöroger Pumpentechnik undReinraumseitiger Schleusenkammer

- Plasmaquelle

- Gassystem und Abgasreinigung

- Kühlkreisläufe

- Anlagensteuerung

- Dokumenttion, Installation und Schulung

Die funktionalen Anforderungen sind der Leistungsbeschreibung (Anlage 1 der Vergabeunterlagen) zu entnehmen.